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高端电子工艺装备

【1】集成电路装备

财产先容:电控公司的集成电路装备以七星电子(南方微)(A股代码:002371)为载体,借助上市平台和国度严重科技专项加速财产成长,产物以集成电路装备为主,并连系市场需要向光伏、进步前辈封装、LED、MEMS、光波导、功率器件和化合物半导体等利用范畴拓展。七星电子(南方微)前后承当11项国度严重科技02专项,手艺程度疾速晋升,弥补了国际12英寸高端刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、洗濯机等装备手艺空缺,大局部产物完成了28nm的财产化认证,刻蚀机、PVD已起头14nm手艺的研发。 

12英寸28nm刻蚀机、PVD、氧化炉等装备均已进入了国际着名集成电路制作企业大出产线,多款产物已成为LED、进步前辈封装、MEMS等泛半导体领的支流产物,市场开辟任务效果明显。此中12英寸、28nmHardMask PVD装备及12英寸55nm硅刻蚀装备已作为中芯国际的Baseline装备。

主要产物:刻蚀装备(Etch)、化学气相堆积装备(CVD)、物理气相堆积装备(PVD)立式炉、LPCVD、超邃密洗濯机、ALD装备。 

 

【2】锂电装备

北京电控可供给全套的锂离子电池极片出产所需的搅拌、涂布、辊压、分切装备。

 

胜利研制大容量的(400L、600L、800L、1000L、2000L)搅拌装备,已把握主动上料手艺、搅拌进程法式化节制、搅拌料评估等手艺;胜利开辟出了挤出式涂布装备,涂布速率10-20m/min(最高到达30m/min)。胜利开辟出了液压伺服辊压装备,极片轧制速率到达20-30m/min(最高到达60m/min),把握了极片热轧手艺、辊电镀手艺、AGC液压伺服节制型等焦点手艺。

 

分切装备可分切卷材宽度达700mm,出产效力到达50m/min(最高程度到达80m/min),并开辟了装备CCD测控体系下降了产物成品率。于此同时,胜利的搭建了20000Ah锂离子能源电池中试线,为自产装备供给了工艺考证平台,具有供给整线处理计划的才能。